艾明坷科技（北京）有限公司

手套箱安装筹备条件是哪些？

1.整机应安放在温差较小、操作便利的位置，应避免阳光直晒和远离采暖设备，放置平稳;

2.将夹杂气瓶、氮气瓶安放平稳，并分袂装好减压阀(含压力表)，安设在适当位置;

3.接上气路并检查气路，为防止漏气，时可在各接管处用密封胶粘合;

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手套箱主要特点

1、可自动化功能控制气压，检测，净化，还原

2、触摸屏幕：彩色中英文操作界面，易于进入各功能，实现人机对话

3、循环：闭合环气体循环，无油和真空

4、气压控制：自动控制，工作气压可设定在范围+/-12mbar

5、箱体清洗：自动控制，易于操作，节约气体，对操作溶剂安全

6、脚踏开关：箱内气压可通过脚踏开关调整

7、配置国际品牌组件

8、密封性能优越，更换方便

9、数据备忘录：自动记录系统数据

10、制系统：采用PLC程序控制系统

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惰性气体手套箱分为三种

A）真空手套箱：在操作前，对整个箱体抽真空，把箱体内空气完全抽掉，然后充上高纯气体即可使用。优点：设备便宜。缺点：水氧杂质含量高，通常在100PPM以上。

B）清洗手套箱：对手套箱进行连续通氮气，不间断地把泄漏入手套箱内的气体杂质清洗出手套箱。优点：设备便宜。缺点：运作成本高，需要消耗大量的惰性气体。水氧杂质含量通常在10PPM以上。

C）循环手套箱：手套箱带有气体净化气体，手套箱内的气体不间断地循环过气体净化系统把水氧和有机1溶剂杂质除去。优点：运作成本低，水氧含量低，通常小于1PPM；含PLC和触摸屏，功能多。缺点：设备价格较高。

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真空热蒸发镀膜工艺

OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。接通氮气进气路，打开氮气节制阀1，使手套鼓起，封1锁阀门1，然后扎紧袋口。